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磨床的幾何精度是指磨床在不承受外力負荷的情況下，各部件的運動精度和相互位置精度。把機床制造得是不可能的，總有不可避免或多或少的誤差存在。這種誤差將在工件加工時不同程度的反映到工件上來，而影響其工件的加工精度。一般機床的幾何精度有主軸的徑向跳動和軸向竄動精度，工作臺等運動部件移動的直線度精度，傳動部件的相互位置誤差和傳動誤差精度等。
磨床砂輪主軸的徑向跳動和軸向竄動以及磨床頭架運動誤差大，不僅會影向磨削后的工件表面粗糙度，還會使工件產(chǎn)生圓度和端面跳動，造成磨削過程中火花不均勻。工作臺移動在垂直面不垂直時，在內(nèi)、外圓磨床上，影響工件母線的直線性，在平面磨床上，造成工件平面度誤差大。臺灣上一精密成型平面磨床采用CNS4300檢測標準進行機床的幾何精度檢驗。
磨床的剛性是指磨床在承受外力磨削力時，其部件抵抗變形的能力。也即是在同樣的磨削力的情況下，部件變形越小，表示剛度越大。反之，部件変形大，表示此部件剛度就小。這些變形的大小，破壞了磨床靜態(tài)的原始幾何精度，將引起工件的加工誤差的大小。所以剛度好的機床，工件的加工精度高。
磨床的熱變形是指機床內(nèi)部的熱源分布不均勻，各個部位在運動中產(chǎn)生的熱量多少也不同，外界熱源對機床各部位的影響也不樣，零部件因材料不同的熱膨脹系數(shù)也不相同，造成機床各部分不同的微量變形，使機床原始幾何精度下降，而影響工件的加工精度。所以精密磨床應(yīng)該安裝在恒溫室使用，以防止溫度的變化對機床和工件的精度產(chǎn)生影響。
磨床軌道爬行：磨床工作臺砂輪架等運動部件在作微量周期進給或低速連續(xù)移動時，出現(xiàn)運動不均勻的現(xiàn)象，通稱為爬行。當磨床有這種現(xiàn)象發(fā)生時，使磨的過程中的進給不均勻，而影響工件磨削表面粗糙度。
磨床的振動：磨床在磨削加工過程中產(chǎn)生振動，使砂輪和工件問相對位置發(fā)生周期性的變動，使工件表面產(chǎn)生振蚊，嚴重影加工質(zhì)量和精度。
要提高磨削后的工件精度，除了努力消除上述因素的影響外，還注意工件加工過程中定位基準的合理選擇、裝夾方式、砂輪的選擇與正確修整、合理選擇磨削用量和工藝方法。